專利名稱 薄膜電晶體及其製造方法
年度 105
專利國別 中華民國
發明人 鄭淳護
核准證號 I559555
屬性 本校
研發單位 機電工程學系
專利簡介 本發明係關於一種薄膜電晶體及其製造方法。薄膜電晶體包含一基板、一雙通道半導體層、一半導體保護層、一閘極、一閘極介電層、一源極、及一汲極。該雙通道半導體層包含一第一半導體層及一第二半導體層。第一半導體層由一金屬氧化物半導體材料所製成,並形成於基板之上方。第二半導體層由該金屬氧化物半導體材料摻雜一吸氧金屬所製成,並形成於第一半導體層上。半導體保護層形成於第二半導體層上。閘極形成並位於基板之上方。閘極介電層形成於閘極與雙通道半導體層間。源極及汲極鄰近雙通道半導體層,形成而位於基板上方,並與雙通道半導體層電性連結。
專利期限 2034/03/12
技術領域 電子工程
適用產業別 19.電腦、電子產品及光學製品業
 
技術應用方式與預期產品說明 本專利具產業利用性,適用於平面顯示器之相關應用,如手機、電視、PDA、數位相機、筆記型電腦。
關鍵字 電晶體、半導體
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