Title METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL COMPOSITE SURFACE STRUCTURE OF OBJECT
Year 2023
Country TW
Inventor CHENG, CHAU JERN
Co-inventor TU, HAN YEN ; HE, SSU CHIA; HUANG, CHUNG HSUAN
Cert. No. I 804128
Introduction 一種量測物體三維複合表面輪廓之方法,包括:(a)透過至少一組投影單元,以投影一影像至一樣品;(b)透過一影像存取單元,以記錄樣品之反射光波前;(c)透過一數位全像重建方法,以重建樣品之鏡射表面反射光波前及其表面三維輪廓資訊;(d)透過一條紋投影分析方法,以重建樣品之漫射表面的相位影像及其表面三維輪廓資訊;以及(e)透過一影像貼合技術將鏡射表面與漫射表面之三維影像進行影像對位,以完成全幅的鏡射與漫射複合表面造影及其三維輪廓重建
Validity 2041/12/22
Domain Opto-Electronic_Engineering
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