| Title | 以超快雷射製作常溫氣體檢測晶片的薄膜電極的方法 |
| Year | 2018 |
| Country | TW |
| Inventor | ZHANG, YU-SHAN |
| Co-inventor | CHOU, CHENG-YING; HUANG, CHI-HUANG |
| Cert. No. | I631236 |
| Introduction | 本發明係提供一種以超快雷射製作常溫氣體檢測晶片的薄膜電極的方法，其包含在一基板上製作一薄膜，以及在常溫下，以超快雷射製程剝蝕薄膜，以形成具有一電極圖案的一薄膜電極，本發明主要利用超快雷射掃描製程之非接觸性加工(Non-contact machining)方式，搭配鏡組掃描整合技術，以製作導電薄膜電極，並整合無線氣體檢測晶片，該製造上產生更少污染及損耗，且又能進行更複雜更快加工程序的綠色生產方式，以符合產品之需求。 |
| Validity | 2037/07/16 |
| Domain | Electronic_Engineering |
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