| Title | A PROBE ARRAY AND A MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| Year | 2016 |
| Country | TW |
| Inventor | CHEN, SHUN TONG |
| Co-inventor | ZHU, QI YU; CHEN, YUAN YU |
| Cert. No. | I549653 |
| Introduction | 本發明提供一種探針陣列，其包含一基材以及至少一探針。本發明另提供一種探針陣列的製造方法，包含以下步驟：準備一第一基材與一第二基材；在該第一基材之一上表面上加工以形成一陣列微孔；以具有該陣列微孔之該第一基材做為一電極對該第二基材進行放電加工；以及切割經放電加工後之該第二基材，以形成一具有複數個探針之探針陣列。相較於習知技術，本發明可縮短加工時間，探針凹凸不平的表面恰能提供探針足夠的摩擦力，而不易從受測組織上脫落。 |
| Validity | 2035/01/27 |
| Domain | Electronic_Engineering |
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