| Title | 氣體檢測晶片及其製作方法 |
| Year | 2019 |
| Country | TW |
| Inventor | ZHANG, YU-SHAN |
| Co-inventor | CHOU, CHENG-YING; HUANG, CHI-HUANG |
| Cert. No. | I672487 |
| Introduction | 本發明提供一種氣體檢測晶片及其製作方法。該氣體檢測晶片包含一基板、一設於該基板的部分表面的電極單元，及一形成於該基板裸露的表面及該電極單元的感測層，該電極單元的材料包括石墨烯及導電高分子，且該感測層由氧化鋅為材料構成。該氣體檢測晶片的製作方法包含步驟(a)：於一基板的表面覆蓋一石墨烯層，並利用短脈衝雷射將該石墨烯層進行圖案化，而形成一具有二個彼此相間隔的電極的電極單元，及步驟(b)：於該電極單元及該基板裸露的表面利用水熱法成長氧化鋅，而得一由氧化鋅構成的感測層，且該水熱法的溫度不大於90℃。 |
| Validity | 2038/08/22 |
| Domain | Electronic_Engineering |
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